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酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太光的故障原因及处理方法

时间:2015-4-2 作者:dlz0099 分享到:

酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太光的故障原因及处理方法

故障原因:

①酸性抛光液中H3 p0。浓度太高
②酸性抛光液中HNO:浓度太高
③酸性抛光温度太高,抛光时间太长
④碱性抛光沮度太高,抛光时间太长

处理方法 :

①添加H2so‘
②取出部分旧液,添加H,PO‘和HZ S04,也可 用铝条和HNO:反应降低其浓度
③通过实脸确定最佳酸性抛光时间及抛光温度
④通过实验确定最佳孩性抛光时间及抛光温度

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